Ovivo NanoPULS
Modulare Reinstwasser-Analyse in Echtzeit
Die Halbleiter-Produktion verlangt maximale Präzision und die nahezu völlige Abwesenheit von Partikeln in der Luft sowie im Prozesswasser. Gerade Wasser wird in großen Mengen für die zahlreichen Spülgänge gebraucht – und das in reinster Form. Denn selbst kleinste Partikel mit Größen unter 10 Nanometern können Fehler produzieren und so die wertvollen Wafer unbrauchbar machen. Um das Risiko von Fehlproduktionen zu reduzieren, wird daher das Prozesswasser permanent analysiert.
Das neue, NanoPULS genannte Analysesystem hatte Anfang Oktober seine Weltpremiere auf der Konferenz „Ultrapure Micro 2023“ im texanischen San Marcos.
Akustisches Messverfahren
Ovivo, global aktiver Systemanbieter von Anlagen für die Wasser-Aufbereitung, hat ein neues Verfahren entwickelt, das die Echtzeit-Analyse des Reinstwassers noch exakter macht. Das auf der Ultraschall-Technologie basierende Verfahren ist in der Lage, auch minimalste Verunreinigungen nachzuweisen – und kann die Partikel sogar nummerisch erfassen. Das Verfahren läuft automatisch, das Messgerät lässt sich dazu einfach in die jeweils zu überwachenden Versorgungsleitungen einkoppeln. So werden kritische Partikel erkannt, bevor sie die Produktionsanlagen erreichen.
Mobil, modular, kompakt
Waren die bisher eingesetzten Analysegeräte fest in die Leitungen eingebunden und nur in der Lage, einzelne Messkanäle zu detektieren, ist das neue Gerät erstens mobil konzipiert und kann zweitens dank des modularen Aufbaus mehrere Leitungen parallel detektieren und so partikel aufspüren.
Das modulare Konzept besteht aus der Transmitter Unit genannten Rechnereinheit, an die bis zu vier der schlanken Sensor Units angeschlossen werden. Jede Sensor Unit ist auf die Erkennung von Partikeln bestimmter Größenspektren, sogenannten Channels spezialisiert, beginnend bei 5 Nanometern.
Durch diese Trennung von Auswertung und Sensorik eignet sich das System für ganz unterschiedliche Analyseszenarien und bleibt mit 13 Kilogramm pro Unit so kompakt, dass es sich gut mobil handhaben lässt.
Herausforderung Mobilität
Zusammen mit den Experten des Herstellers entwickelte defortec ein Konzept, das gleich mehrere Herausforderungen löste. Neben der maximalen Abschirmung gegenüber Störfeldern, die die Exaktheit der Messungen beeinträchtigen könnten, ging es auch um die Dichtigkeit der Gehäuse, die Wärmeableitung und die Mobilität. Letzteres ließ sich durch das Modulprinzip sowie integrierte, ergonomisch gestaltete Griffe lösen.
Die Forderung, Kühlung und Dichtigkeit zu kombinieren, war eine anspruchsvolle Aufgabe. Statt über Lüftungsöffnungen wird die Prozessorwärme des Transmitters über die massive Bodenplatte passiv abgeführt – und das selbst bei erhöhten Umgebungstemperaturen von bis zu 40°C.
Interface Design von defortec
Die schlanken, kubischen Geräte wenden sich den Nutzern mit dynamisch verjüngenden Fronten zu. Bei der Sensoreinheit besteht sie aus einer dunklen Glasfläche, die vom zentralen Probeanschluss durchdrungen wird. Die Transmitter -Front folgt der identischen Formlogik, besteht aber aus einem nahezu vollflächigen Touchscreen, der einen exakten Überblick über die laufenden Analysen bietet. Das Grafic User Interface wurde einschließlich der Icons, der typografischen Details, der Darstellungen und natürlich der Struktur von defortec eigens entwickelt und für die Auflösung optimiert.
